中山大学

成都觅几科技有限公司于2024年成功向中山大学交付了一套可见光-近红外近场光学显微系统。该系统集成了532nm、633nm以及1064nm三个波段。系统主体由三个激光源、外围光路以及近场专用原子力主机构成。

图1 可见光-近红外近场光学显微镜

系统功能介绍：

该系统可以运用于二维材料极化激元、半导体材料局域化电学性质以及生命科学等前沿研究。

材料学：微镜可用于激发二维材料中的极化激元，最典型的是过渡金属硫族化合物（TMDs）中的激子极化激元。近几年相关工作已在《Nature》、《Nature Photonics》等国际顶尖期刊发表，并仍有很多值得探索的物理现象，该领域的相关工作是当前的国际研究热点之一。

半导体：SNOM对样品介电的具有高度敏感性，可以实现半导体器件和纳米材料的掺杂、应力、组分等信息的定量及高分辨敏感探测，从而可以在纳米尺度上对半导体材料及元件的成分、结构和电传导等性质进行评估分析和质量控制。

生物学：动转动能级在红外波段，可用于定量分析化学结构、组分等信息。通过本系统结合生化物质在红外及可见光波段的敏感性在纳米尺度上能够对有机物、生物样品等相关软物质材料的化学和结构表征，能够进一步推动生命科学微观机制的研究。

系统参数和成像结果

光源	532nm;633nm; 1064nm
近场信噪比	三阶信号：22dB@532nm; 26dB@633nm; 22dB@1064nm;
空间分辨率	40nm
AFM近场单次扫描范围	最大横向扫描范围：>90μm; 最大垂直扫描范围：7.5μm
光学CCD相机	10倍物镜（长工作距离）•彩色摄像机，2560 × 1920分辨率•数字变焦•508 - 4010倍放大范围
系统高性能工作站	内存32G，硬盘2T，CPU3.0GHz

1、532nm近场信号及Si/SiO2标样成像结果

图2 a、b分别位形貌和针尖电压幅值成像，c、d为近场3阶、4阶近场幅值成像

2、633nm近场信号及Si/SiO2标样成像结果

图3 a、b分别位形貌和针尖电压幅值成像，c、d为近场3阶、4阶近场幅值成像

3、1064nm近场信号及Si/SiO2标样成像结果

图4 a、b分别位形貌和针尖电压幅值成像，c、d为近场3阶、4阶近场幅值成像

成都觅几科技有限公司长期致力于高端太赫兹设备，近场光学设备的国产化。后续公司也将继续关注相关方向的国际前沿进展，陆续推出相关工作的专业解读，欢迎关注。公司目前拥有太赫兹远场成像，成谱时域系统，太赫兹近场成像、成谱系统，太赫兹光导探针近场系统（微米级分辨率），感兴趣测样的老师同学也欢迎联系我们寄样测试。